Entegris中國技術(shù)中心落戶上海張江，擴(kuò)大在華服務(wù)規(guī)模
Entegris中國技術(shù)中心的落成運(yùn)營進(jìn)一步提升了公司的在華技術(shù)能力，其四大實(shí)驗(yàn)室所提供的專業(yè)技能是打造半導(dǎo)體制造生態(tài)圈的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
文 | 方雯
圖 | Entegris
根據(jù)半導(dǎo)體協(xié)會提供的數(shù)據(jù)，未來10到20年，中國將成為半導(dǎo)體材料增長快的地區(qū)，這也為半導(dǎo)體生產(chǎn)方面帶來了很大的投資機(jī)遇與進(jìn)展。
11月13日
，Entegris中國技術(shù)中心在上海張江舉行了慶典活動，該技術(shù)中心配備了四大實(shí)驗(yàn)室：微污染控制應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室、先進(jìn)材料處理應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室、表面處理和集成應(yīng)用（SPI）實(shí)驗(yàn)室、分析和計(jì)量實(shí)驗(yàn)室，可解決半導(dǎo)體制造生態(tài)系統(tǒng)中客戶面臨的各種問題，并提供廣泛的分析和技術(shù)支持。
據(jù)Entegris執(zhí)行副總裁及首席運(yùn)營官Todd Edlund介紹，Entegris主要有三個業(yè)務(wù)板塊：第一個業(yè)務(wù)板塊是特種化學(xué)品和工程材料，主要是跟與沉積以及清潔業(yè)務(wù)有關(guān)，氣體生產(chǎn)也是這個業(yè)務(wù)板塊中重要的一部分；第二個業(yè)務(wù)板塊是微污染控制，微污染控制主要是生產(chǎn)應(yīng)用于液體和氣體的凈化器和過濾器；第三個業(yè)務(wù)板塊是先進(jìn)材料的處理，包括晶片等。
在2018年，Entegris的營業(yè)額已達(dá)到16億美金，其中8%投入了研發(fā)，大約有80%的營收來自于半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)，20%是半導(dǎo)體以外的領(lǐng)域，例如數(shù)據(jù)存儲、平板顯示等，不過Todd Edlund表示這個比率是在持續(xù)變化中的。
近日，Entegris完成了在對杭州安諾的收購，這是Entegris在中國市場大的一筆收購，員工團(tuán)隊(duì)已增長至接近5000人。收購安諾提升了Entegris在過濾器生產(chǎn)方面的能力，使其可在微電子、生物醫(yī)療、環(huán)保廢處理領(lǐng)域提供更高品質(zhì)的服務(wù)。此外，Entegris與湖北晶星、博純材料在TEOS、氣體領(lǐng)域也一直保持著緊密的合作關(guān)系。
對于半導(dǎo)體材料來說，污染與缺陷的控制一直是備受關(guān)注的領(lǐng)域。
在媒體會上，Todd Edlund提到：“隨著28納米工藝降到今天的7納米，我們對材料中的金屬雜質(zhì)的容忍度已經(jīng)下降了1000倍，其中對于晶圓殺手顆粒的尺寸也縮小了將近4倍，這也給Entegris帶來了巨大的機(jī)會。”
Entegris中國總經(jīng)理張凱翔先生表示，Entegris在材料供應(yīng)上的專長就是生產(chǎn)潔凈的產(chǎn)品。半導(dǎo)體生產(chǎn)中最怕的就是一些污染源，無論是顆粒污染還是金屬污染，所以原物料供應(yīng)商產(chǎn)品的潔凈度很重要。
Entegris又是如何有效控制污染與缺陷，改善產(chǎn)品良率？
根據(jù)Entegris中國技術(shù)中心技術(shù)總監(jiān)江平女士的分享，Entegris中國技術(shù)中心所配備的四個實(shí)驗(yàn)室可提供一系列本地化的綜合性服務(wù)。
微污染控制應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室主要是檢測過濾器的性能，診斷在過濾器應(yīng)用中，客戶端在生產(chǎn)過程可能出現(xiàn)的問題或者潛在風(fēng)險(xiǎn)。先進(jìn)材料處理應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室位于無塵等級1000的潔凈室里，它可以提供包括光阻泵、管閥件以及傳感器等各種流體輸送材料的潔凈度和功能的檢測。表面處理和集成應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室主要用于先進(jìn)制程中晶圓的清洗產(chǎn)品應(yīng)用和功能測試。分析和計(jì)量實(shí)驗(yàn)室則是主要服務(wù)于以上三個應(yīng)用的實(shí)驗(yàn)室，它配備了業(yè)界先進(jìn)的量測設(shè)備，著重于高純化學(xué)品先進(jìn)材料和各種過濾膜的理化性能的分析表征，以協(xié)助客戶在實(shí)際生產(chǎn)過程中有效地控制污染，改善良率。
在兩三年前，Entegris就已經(jīng)開始制定本地化的策略。如今中國半導(dǎo)體行業(yè)已足夠成熟且具備了相應(yīng)的能力，這也使得Entegris下定決心將技術(shù)中心帶到了中國。
Todd Edlund提到：“在沒有建立中國技術(shù)中心之前，如果我們想對化學(xué)品、過濾器進(jìn)行測試，就需要將這些東西拿到國外的技術(shù)中心，等出了結(jié)果之后再帶回給中國客戶。這往往需要耗費(fèi)幾周的時(shí)間。但是現(xiàn)在隨著中國上海技術(shù)中心的建立，這項(xiàng)工作的完成時(shí)間可以用天來計(jì)算，而不像過去要用周來計(jì)算。”
在問及為何將技術(shù)中心落戶上海時(shí)，Todd Edlund認(rèn)為，上海地區(qū)的客戶數(shù)量，包括有決策能力的客戶數(shù)量和客戶部署工程的能力都是強(qiáng)的。張凱翔補(bǔ)充：“另一個重要原因是人才，上海是中國先開始做半導(dǎo)體的地方。此外，Entegris也跟上海復(fù)旦大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)有一些合作的項(xiàng)目，也是基于人才的培養(yǎng)。”
在今后的國內(nèi)市場，污染物控制以及計(jì)量等領(lǐng)域?qū)?yīng)商提出更高的要求。江平女士在媒體會上提到這樣一句話：“預(yù)測未來好的方法就是創(chuàng)造它。”Entegris也將持續(xù)關(guān)注行業(yè)發(fā)展需求，并進(jìn)一步擴(kuò)大在華實(shí)驗(yàn)室規(guī)模，創(chuàng)造具有更多可能性的未來。
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